導讀：據韓媒Business Korea報道，全球光刻膠巨頭日本TOK（東京應化）公司已開始在韓國生產 EUV 光刻膠，有望繞過日本政府對韓出口管制。

  

來源：東京應化（TOK）

韓國貿易工業和能源部7月1日表示，TOK 在致當地一家媒體的信中說，其韓國子公司正在制造 EUV 光刻膠，并可以及時提供該產品。

而自2019年7月起，EUV 光刻膠是日本政府禁止向韓國出口的物品之一。該公司似乎選擇在韓國生產 EUV 光刻膠，以繞過日本政府的出口管制。

  

圖：TOK 的海外工廠

據報道，三星電子正在對位于仁川的 TOK 工廠生產的 EUV 用光刻膠進行測試，將在其非內存生產線中使用光刻膠進行 EUV 工藝制造。報道認為，三星對日本公司在韓國生產的 EUV 光刻膠表現出興趣。

2019年遭遇禁運后，三星曾向另一家光刻膠巨頭 JSR 的比利時子公司尋求產品供應。外界普遍認為，韓國半導體業在短期內很難解決高端半導體材料的國產化難題。

JSR（東京合成橡膠）、TOK（東京應化）和Shin-Etsu（信越化學）三家企業是全球主要的半導體化學材料供應商，包含三家在內的日本企業占據全球光刻膠市場份額超過70%，在高端的 ArF 和 EUV 光刻膠領域市場占有率則超過90%。

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