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故技重施!美國(guó)正阻止EUV光刻機(jī)進(jìn)入海力士中國(guó)廠

2021-11-18 17:25:22閱讀量:631

導(dǎo)讀:當(dāng)?shù)貢r(shí)間11月18日,路透社援引知情人士消息稱,美國(guó)官員不希望先進(jìn)工藝半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入中國(guó),SK海力士無錫廠引進(jìn)EUV將受到影響。


  

圖:海力士無錫廠(二期)

三位知情人士稱,事件緣由是SK海力士計(jì)劃升級(jí)位于中國(guó)無錫的DRAM和NAND晶圓廠,同時(shí)配備荷蘭ASML最新的極紫外(EUV)光刻機(jī),從而成為全球最先進(jìn)的存儲(chǔ)器制造廠。


繼特朗普游說荷蘭政府阻止ASML向中芯國(guó)際出口EUV后,一位白宮高級(jí)官員稱,拜登政府仍然專注于阻止中國(guó)利用美國(guó)和盟國(guó)的技術(shù)開發(fā)最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)


  

圖:SK海力士CEO 李錫熙


據(jù)兩位了解SK海力士的人士透露,ASML光刻機(jī)的進(jìn)口問題在SK海力士?jī)?nèi)部引起了足夠的關(guān)注,以至于首席執(zhí)行官李錫熙在7月訪問華盛頓期間向美國(guó)官員提出了這個(gè)問題。


但目前似乎并沒有進(jìn)展,且從本月SK海力士按要求向美國(guó)商務(wù)部遞交產(chǎn)能和經(jīng)營(yíng)信息來看,前景非常不明朗。SK海力士稱正在盡最大努力應(yīng)對(duì)市場(chǎng)和客戶的需求。


之所以EUV進(jìn)口問題深受各方關(guān)注,首先在于無錫廠對(duì)全球電子行業(yè)至關(guān)重要。數(shù)據(jù)顯示,無錫廠的DRAM芯片產(chǎn)量約占整個(gè)SK海力士的50%,占到全球總量的15%


  

圖:DRAM技術(shù)路線(Tech Insights)


同時(shí),一位了解海力士中國(guó)的消息人士表示,隨著新工藝生產(chǎn)的存儲(chǔ)芯片在兩到三年內(nèi)占據(jù)更大份額,SK海力士將需要借助EUV來降低平均成本、擴(kuò)充產(chǎn)能,否則將在下個(gè)世代落后于三星和美光。


而不同之處在于,三星和美光已經(jīng)采購了ASML的EUV機(jī)器,但并未在中國(guó)工廠部署使用。


而影響此事進(jìn)展的另一方在于ASML,其發(fā)言人曾表示,該公司遵守所有出口管制法律,并將其視為政府確保國(guó)家安全的“有效工具”。


VLSIresearch分析稱,這些規(guī)則(指設(shè)備出口限制)可能適用于中國(guó)的任何芯片制造業(yè)務(wù),無論是外國(guó)的還是國(guó)內(nèi)控制的,“任何在中國(guó)安裝EUV工具的人都會(huì)為中國(guó)提供能力”


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