官宣:張汝京領銜30億國產光罩項目
2022-08-23 09:31:14閱讀量:962來源:芯片大師
導讀:近日,嘉興南湖政府網站披露,張汝京博士作為項目領銜人及其團隊等出席總投資30億元的光罩材料產業鏈項目簽約儀式。
圖:嘉興市人民政府公告
芯片大師曾報道張汝京:下一站,國產半導體設備,2021年底在萬業企業旗下嘉芯半導體啟動半導體設備項目時,作為后者第二大股東寧波芯恩的主要股東和董事長,張汝京博士并未現身。
但坊間一直傳聞張博士淡出青島芯恩乃至加盟上海積塔半導體,他本人亦私下表示“對設備一直有興趣”,本次時隔數年,74歲高齡的他終于現身嘉興南湖光罩項目簽約現場。
圖:簽約儀式(張汝京博士為后排左起第五位)
據悉,該項目總投資30億元,首期投資11億元,將落戶于南湖高新區集成電路產業園,主要從事光罩材料產業鏈相關產品的研發制造,產品包括高平整度石英基板、鍍膜基板(含二元及相位移的)、保護膜的原材料。項目計劃于今年9月啟動。
光罩,也稱為光掩模版,是半導體光刻工藝中所需的高精密工具,也是芯片制造環節的關鍵原材料,直接決定光刻工藝水平。
圖:張汝京博士一行
簽約儀式上,張汝京表示,隨著半導體產業的迅速發展,光罩作為芯片的關鍵原材料,市場需求不斷上升。
目前,光罩材料部分產品完全依賴進口,尤其是光罩保護膜,目前僅有海外少數幾家廠商有能力生產,國內該方面技術仍為空白。本項目旨在成為國內光罩上游材料龍頭,解決國內半導體材料“卡脖子”問題。
若項目能夠順利落地,將是張汝京博士繼創辦中芯國際(晶圓代工)、新昇半導體(大硅片)、青島芯恩(CIDM)等重大項目后的又一大致力于解決半導體“卡脖子”的壯舉。

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