導讀：近日，知名CIS廠商格科微宣布搬入ASML的一套ArF光刻機。

  

來源：格科微

據格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收，相關廠務系統配備進展順利，共有61臺設備已經搬入。未來，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關設備仍會陸續搬入。

格科微表示，ArF光刻機的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”建設的關鍵節點。

  

圖：ArF光刻機

依托自有工廠即格科半導體的先進制程，格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發速度，并在自有工廠實現批量生產驗證，從而極大縮短高端產品從研發到大量供應市場的周期。

據了解，該項目總投資約155億元，建設一座12寸、月產6萬片的晶圓廠，建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產線，預計年底達到量產狀態。