導讀：最新消息，彭博社援引知情人士透露，美國正向荷蘭、日本施壓，要求光刻機制造商ASML和尼康停止向中國大陸出售技術較成熟的DUV光刻設備。

  

來源：彭博社

繼阻止中芯國際和SK海力士無錫廠引入EUV光刻機后，美國政府對大陸半導體的遏制已經延伸到非先進工藝的7nm節點。

知情人士表示，美國官員正在游說荷蘭當局禁止ASML出售成熟制程所需的深紫外光（DUV）浸沒式光刻系統。這類設備所用于的芯片制程技術比先進技術落后一代以上，但仍是制造汽車、手機、電腦乃至機器人所需的成熟制程芯片最常用的設備。

由于ASML壟斷了全球高端光刻市場，浸沒式DUV全球市占率達93%，EUV全球市占率達100%。消息拖累ASML的美國存托憑證（ADR）價格一度重挫超8%，為近一年最大盤中跌幅。

  

圖：可用于7nm工藝的尼康浸沒式DUV

此外，美國官員也試圖施壓技術落后ASML的DUV供應商日本尼康，要求停止向大陸芯片制造商發貨。

日本尼康和佳能是ASＭL外全球最大的兩家DUV制造商，芯片大師曾報道ASML CEO：某集團被迫買洗衣機來拆芯片，過去兩年內其用于200mm晶圓的二手設備已經漲價數倍，甚至已有20年歷史的老舊機臺在二手和租賃市場都供不應求。

浸沒式光刻技術也稱氟化氬浸沒（簡稱ArFi），是EUV的上一代技術，ASML、尼康的高端ArF設備最高均能實現7nm工藝，也是當初推動ASML一躍成為全球光刻霸主的關鍵技術，如今成為打壓大陸半導體業的新工具。

公開資料顯示，ASML在2021年出貨81臺浸沒式DUV設備，而尼康則為4臺。

  

圖：美國商務部官員訪問ASML

知情人士說，美國商務部副部長格雷夫斯（Don Graves）于5月底出訪荷蘭時，提出了這一要求。但暫時來看，荷蘭政府尚未同意額外限制ASML向中國大陸晶圓制造商出口DUV設備，同時荷蘭首相呂特6月曾表示他“反對重新考量與中國的貿易關系”。

ASML CEO溫彼得今年稍早時候也曾表示，ASML反對禁止把DUV設備賣給中國大陸，因為這是成熟技術。ASML對中國大陸（包含國內外企業的所有晶圓廠）發貨的銷售額，占2021年總營收的14.7%。

  

圖：全球主要芯片制造設備市場

同時根據SEMI數據，盡管無法引進先進工藝設備，中國大陸依然連續兩年成為全球最大的晶圓制造設備市場，累計花費高達483億美元（約合人民幣3200億人民幣）。

盡管其中有斷供壓力下晶圓廠囤積庫存和產能緊缺導致擴產的雙重催化，但這份數據展示的強大市場潛力背后，ASML等先進工藝設備無法進入依然使其遭受了不少的損失。

ASML發言人表示：“討論并不是新的。尚未作出任何決定，我們不希望對傳言加以臆測或評論。”尼康則未予置評。