導讀：10月15日，ASML總裁兼CEO Peter Wennink 在三季度財報發布會上明確表示，阿斯麥從荷蘭向中國客戶提供的DUV光刻機，無需美國出口許可證。

  

圖：阿斯麥光刻機

“根據當前法規，ASML（阿斯麥）無需獲得美國出口許可證便可以繼續從荷蘭向中國客戶出貨DUV光刻系統；對于直接從美國發貨系統或零件到受法規影響的客戶，ASML需獲得許可證。”光刻機龍頭ASML 總裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度財報說明會上對中芯國際等中國客戶的出貨情況做了解釋。

雖然沒有提到最先進的極紫外光（EUV）出口情況如何，但這一消息也足夠振奮人心。

國內企業面臨著制程落后的難題，以中芯國際為例，早在2018年就購買的一臺EUV光刻機，至今毫無音訊。如果DUV光刻機能順利買入，至少有希望讓制程更進一步。

另外，ASML在財報中披露了最新的TWINSCAN NXE:3600D的規格，其生產效率將提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時可處理160片晶圓。

這臺全新的極紫外光刻機，將在明年年中開始出貨。